特許

J-GLOBAL ID：200903079533548289

微小電気機械システム(MEMS)光スイッチおよびその製造方法

発明者： コウィラード ジェイムズ ジー.
出願人/特許権者： コーニング・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 藤村 元彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-552132
公開番号（公開出願番号）：特表2003-519821
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2003年06月24日
要約：

【要約】導波路(24)によって伝送される光信号を切り替える基盤の導波路スロット(12)内に選択的に可動な制御要素(32)を有する片持ちアーム(40)を含む2次元光学回路基板上の光学スイッチ。アーム(40)は、温度型または圧電型アクチュエータによって作動され、導波路(24)に沿って信号をそのまま透過せしめる休止位置と、信号の方向を遮るもしくは変えるスロット(12)内の制御要素(32)を有する第2の位置との間で撓む。横方向に動く第2のアームが与えられる場合があり、このアームは、片持ちアーム(40)と連動して第2の位置でこの片持ちアーム(40)の上に乗りかつ止めるように作動し、よって、スイッチが、更なる制御信号の印加なしに作動状態で保持され得る。エッチングによって1つのウェハー上に形成されるMEMSスイッチのアレイは、導波路のアレイと結合され、複数のスイッチモジュールを与える。

請求項（抜粋）：

間隔を置いて設けられた複数のポートを有する光導波路を含む基板と、 片持ちされた態様で前記基板に取り付けられたアームと、 前記基板平面に対して垂直方向の平面上に前記アームを撓ませるアクチュエータと、 前記アームに取り付けられた制御要素とを含み、前記アームの動作によって、前記制御要素が前記複数のポート間で動き、導波路内の光エネルギの伝達を制御することを特徴とする光学スイッチ。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00

FI (3件)：

G02B 26/08 E ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00

Fターム (8件)：

2H041AA14 ,  2H041AA15 ,  2H041AA16 ,  2H041AB13 ,  2H041AC07 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08