特許
J-GLOBAL ID：200903079536877801
計算機ホログラムを有する平板及びそれを用いた面精度の計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-272976
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110214
出願日： 1994年10月12日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 大きい非球面を部分被検面に分割して、部分被検面の形状を逐次測定することにより全面の精度情報を得る計測に好適な計算機ホログラムを有する平板及びそれを用いた面精度の計測方法を提供すること。【構成】 任意の曲線を1つの軸を回転軸として回転させて得られる形状の曲面の面精度を測定する際に用いる計算機ホログラムを有する平板にして、該平板上には該曲面の面精度を測定する際に利用する測定用の計算機ホログラムと、該曲面の位置出しを行う際に利用する被検面位置出し用の計算機ホログラムとを有し、該被検面位置出し用の計算機ホログラムは所定の入射光に対して、該曲面の該回転軸を含む平面内に射出する所定次数の回折光が該平面と該曲面との交線上の一点に集光する回折光を発生する。
請求項（抜粋）：
任意の曲線を1つの軸を回転軸として回転させて得られる形状の曲面の面精度を測定する際に用いる計算機ホログラムを有する平板にして、該平板上には該曲面の面精度を測定する際に利用する測定用の計算機ホログラムと、該曲面の位置出しを行う際に利用する被検面位置出し用の計算機ホログラムとを有し、該被検面位置出し用の計算機ホログラムは所定の入射光に対して、該曲面の該回転軸を含む平面内に射出する所定次数の回折光が該平面と該曲面との交線上に集光する回折光を発生することを特徴とする計算機ホログラムを有する平板。
IPC (2件)：
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