特許

J-GLOBAL ID：200903079538558142

ウエハ搬送装置およびウエハ処理装置

発明者： 櫛田 稔 ,  日比谷 隆 ,  松本 正規
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (2件)： 梶山 佶是 ,  山本 富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-301410
公開番号（公開出願番号）：特開2004-140058
出願日： 2002年10月16日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】検査ステージ等のウエハ処理ステージに対してウエハのアライメントを行うステージ等を特別に設けなくても、ウエハの位置決めができるウエハ搬送装置およびウエハ処理装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、エアー噴流によるベルヌーイ効果の減圧を利用してウエハを浮上させてチャックする3個以上の非接触吸引ヘッドと、これら非接触吸引ヘッドの少なくとも1つのエアーを時計方向あるいは反時計方向に選択的に順次OFF状態にしてあるいは選択的に順次そのエアーの流量を増加または減少させてウエハを回転させる制御を行う制御装置とを備えるものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

エアー噴流によるベルヌーイ効果の減圧を利用してウエハを浮上させてチャックする3個以上の非接触吸引ヘッドと、 これら非接触吸引ヘッドの少なくとも1つのエアーを時計方向あるいは反時計方向に選択的に順次OFF状態にしてあるいは選択的に順次そのエアーの流量を増加または減少させて前記ウエハを回転させる制御を行う制御装置とを備えることを特徴とするウエハ搬送装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  B65G49/07

FI (3件)：

H01L21/68 C ,  H01L21/68 M ,  B65G49/07 H

Fターム (24件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA28 ,  5F031GA36 ,  5F031GA38 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031JA08 ,  5F031JA14 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031KA01 ,  5F031KA10 ,  5F031KA11 ,  5F031KA12 ,  5F031KA14 ,  5F031MA33 ,  5F031PA26