特許

J-GLOBAL ID：200903079538662683

インターカレーション化合物薄膜の製造方法

発明者： 黒島 貞則
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-131732
公開番号（公開出願番号）：特開平7-330320
出願日： 1994年06月14日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】各種物質同士のインターカレーション化合物を簡便かつ高品質に形成する方法を提供する。【構成】2種の物質をセル1,2より蒸発気化させ、イオン化用コイル3,4で異なる符号の各種価数にイオン化し、蒸着基板5に達する直前で混合させ、イオン化した物質を反応させて蒸着基板へ付着させる事により、インターカレーション化合物薄膜10を形成する。

請求項（抜粋）：

少くとも2種の原料を蒸発気化させる際あるいは蒸発気化させた後、この気化物質をイオン化源を制御しイオン価数を制御しながら正イオンおよび負イオンにイオン化させ、フラックス量を制御しながら基板へ蒸着し、イオン化したそれぞれの物質を基板上において異なる電荷を有するイオン同士を結合させることを特徴とするインターカレーション化合物薄膜の製造方法。

IPC (9件)：

C01B 31/02 101 ,  C01B 31/00 ,  C01D 17/00 ZAA ,  C01F 17/00 ,  C01G 1/00 ,  C01G 5/00 ZAA ,  C01G 15/00 ZAA ,  C01G 21/00 ZAA ,  C23C 14/32