特許
J-GLOBAL ID：200903079545275300
回折光学素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-259640
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113907
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【目的】 断面が矩形のグレーティングを有する回折光学素子において、グレーティング周期の小さい領域でも斜め入射光に対する回折効率の低下を防止する。【構成】 基板1上に形成された矩形断面を有するグレーティング部2のグレーティング周期に応じて、デューティ比(1つの周期における空気層以外の領域の割合)を最適な値となるように変化させる。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に形成されたグレーティング部を具備する回折光学素子であって、前記グレーティング部の断面は矩形形状であり、前記グレーティング部の周期に応じて前記グレーティング部の矩形断面のデューティ比(1つの周期における空気層以外の領域の割合)が異なることを特徴とする回折光学素子。
引用特許：
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