特許

J-GLOBAL ID：200903079545376351

研磨用クロス及びその製造方法

発明者： 奥平 倫之 ,  中田 正典 ,  長井 賢次
出願人/特許権者： カネボウ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-098879
公開番号（公開出願番号）：特開2004-306149
出願日： 2003年04月02日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】硬質樹脂による微細な凹凸を防止し、研磨加工後の被研磨物の平坦性を向上させる。【解決手段】複数の樹脂が含浸された不織布の研磨クロスであり、不織布の繊維に密着した熱可塑性ポリウレタン樹脂層と、その上層に前記樹脂よりも硬度が同等あるいは軟質の樹脂層が積層されていることを特徴とする研磨クロスにより解決する。これにより、被研磨物の研磨後の平坦度が格段に向上し、研磨精度が向上すると共に、効率の良い研磨が可能となる。

請求項（抜粋）：

複数の樹脂が含浸された不織布の研磨クロスであり、不織布の繊維に密着した熱可塑性ポリウレタン樹脂層と、その上層に前記樹脂よりも硬度が同等あるいは軟質の樹脂層が積層されていることを特徴とする研磨用クロス。

IPC (4件)：

B24B37/00 ,  D06M15/507 ,  D06M15/568 ,  H01L21/304

FI (4件)：

B24B37/00 C ,  D06M15/568 ,  H01L21/304 622F ,  D06M15/507 Z

Fターム (10件)：

3C058AA07 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17 ,  4L033AA07 ,  4L033AB07 ,  4L033AC15 ,  4L033CA45 ,  4L033CA51 ,  4L033CA70