高抵抗スズドープ酸化インジウム膜付ガラス

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東海裕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-085970
公開番号（公開出願番号）：特開平7-277771
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】高抵抗かつ均一性に優れたスズドープ酸化インジウム膜付ガラスを提供する。【構成】第三成分をInに対して0.05〜20原子%添加してなるスズドープ酸化インジウム膜付ガラス。【効果】200〜3000Ω/□のシート抵抗値を有し、かつ、リニアリティ値が±2%以内である均一性に優れた透明導電膜付ガラスであり、ペン入力タッチパネル等に好適に使用することができる。

請求項（抜粋）：