特許

J-GLOBAL ID：200903079548769117

温度測定方法および装置、並びにプラズマ処理装置

発明者： 曽我 朗
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-311631
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122480
出願日： 2000年10月12日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】 透光性を有する被測定体の表面温度を非接触で、被測定体の透過光を検出しなくても測定できる方法とその装置、および、それを用いた成膜装置並びにエッチング装置等のプラズマ処理装置を提供すること。【解決手段】 光源12からの被測定体1への照射、並びに、被測定体1の表面および載置部2からの反射光および放射光の受光は同一の透過窓4を用いて行ない、かつ、被測定体1の表面および載置部2からの反射光および放射光の受光は共焦点光学系6を用いて行なう。

請求項（抜粋）：

チャンバ内の載置台に載置されている被測定体に光源から光を照射し、前記被側定体の表面からの反射光および前記被測定体を透過した載置台からの反射光を受光し、それに基づいて前記被測定体の透過率および放射率を算出する工程と、前記光源からの光を遮断した状態で、前記被測定体の表面からの放射光および前記載置台からの放射光が混在した混在放射光を受光する工程と、前記透過率、放射率および前記混在放射光の強度に基づいて前記被測定体の温度を算出する工程とを備える温度測定方法であって、前記光源からの前記被測定体への照射、並びに、前記被測定体の表面および前記載置台からの反射光および放射光の受光は同一の透過窓を用いて行ない、かつ、前記被測定体の表面および前記載置台からの反射光および放射光の受光は共焦点光学系を用いて行なうことを特徴とする温度測定方法。

IPC (4件)：

G01J 5/10 ,  G01J 5/00 ,  G01J 5/02 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

G01J 5/10 A ,  G01J 5/00 B ,  G01J 5/02 K ,  H01L 21/31 C

Fターム (15件)：

2G066AA04 ,  2G066AB02 ,  2G066AB03 ,  2G066AB06 ,  2G066AC11 ,  2G066BA31 ,  2G066BA38 ,  2G066BB01 ,  2G066BC07 ,  2G066BC12 ,  2G066BC15 ,  2G066CA15 ,  5F045AA03 ,  5F045AA09 ,  5F045GB05