特許

J-GLOBAL ID：200903079549079769

エッチング剤,部材表面のエッチング処理方法,電子部品の製造方法,洗浄剤、部材の洗浄処理方法,器具の洗浄処理方法および機器の製造方法

発明者： 関 斎 ,  宮澤 聡 ,  福井 洋文 ,  笠間 泰彦 ,  阿部 章 ,  中村 功 ,  大見 忠弘 ,  荻野 和子
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-285338
公開番号（公開出願番号）：特開平6-200384
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】 高濃度の硝酸や有機酸である酢酸を用いず、エッチレートが長期間安定に使用できる表面処理剤を提供すること。【構成】 溶液中に、フッ化水素酸と、Mm(XOn)p(Mは水素または1〜3価の金属またはNH4 、mは1または2または3または5、Xはハロゲン元素、nは3または4または6、pは1または2または3)で示されるオキソ酸またはオキソ酸塩化合物とを含む表面処理剤。【効果】 オキソ酸またはオキソ酸塩化合物が強力な酸化剤として働き、固体表面を酸化物に変え、ついでこれらの酸化物がフッ化水素酸により溶解される。この際、発熱や気体が発生することがなく、昇華性が無いため長期間安定であり、特別な配管を用いる必要がなく、さらに有機系の化合物を用いていないため、特別な廃液処理の必要がない。

請求項（抜粋）：

溶液中に、フッ化水素酸と、Mm(XOn)p(Mは水素,1〜3価の金属またはNH4 、mは1,2,3または5、Xはハロゲン元素、nは3,4または6、pは1,2または3)で示されるオキソ酸またはオキソ酸塩化合物とを含むことを特徴とするエッチング剤。

IPC (4件)：

C23F 1/24 ,  C23G 1/08 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/308

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭47-035652
  
• 特公昭41-018934