マイクロアクチュエータとその製造方法並びにマイクロアクチュエータを用いた磁気ヘッド装置及び磁気記録装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252310
公開番号（公開出願番号）：特開2000-278964
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】製造時に使用するマスク枚数の削減、製造プロセスの簡易化を図ることができるマイクロアクチュエータおよびその製造方法、さらに、このアクチュエータを用いた磁気ヘッド装置および磁気記録装置を提供する。【解決手段】間隙をあけて対向し、相対移動可能に設けられた一対の基板と、前記一対の基板の第1の基板3の対向面上に設けられ、複数の歯部を有する櫛歯状の第1の電極4と、第2の基板2の対向面上に設けられ、前記第1の電極4の歯部間に位置する歯部から成る第2の電極5とを有し、前記第1の基板3または前記第2の基板2のいずれか一方の基板の対向面上には、中間膜30をエッチングにより一部除去してなる接続膜31が形成され、前記接続膜31上には前記第1の電極4または前記第2の電極5が接合されているマイクロアクチュエータとする。

請求項（抜粋）：

間隙をあけて対向し、相対移動可能に設けられた一対の基板と、前記一対の基板の第1の基板の対向面上に設けられ、複数の歯部を有する櫛歯状の第1の電極と、第2の基板の対向面上に設けられ、前記第1の電極の歯部間に位置する歯部から成る第2の電極とを有し、前記第1の基板または前記第2の基板のいずれか一方の基板の対向面上には、中間膜をエッチングにより一部除去してなる接続膜が形成され、前記接続膜上には前記第1の電極または前記第2の電極が接合されていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。

IPC (6件)：

H02N 1/00 , G11B 5/56 , G11B 5/596 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , H02K 15/02

FI (7件)：

H02N 1/00 , G11B 5/56 R , G11B 5/596 , H02K 15/02 Z , H01L 41/08 C , H01L 41/08 L , H01L 41/22 Z

Fターム (7件)：

5D042AA07 , 5D042BA07 , 5D042CA01 , 5D042CA04 , 5D042DA12 , 5D042LA01 , 5D042MA15

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