特許

J-GLOBAL ID：200903079554570748

ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 平岡 良一 ,  梶田 徹 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-358731
公開番号（公開出願番号）：特開平6-202317
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 特にフォーカス許容性に優れるとともに、感度、解像度、残膜率、現像性、パターン形状および耐熱性にも優れたレジストとして有用なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (イ)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、および(ロ)フェノール類とジシクロペンタジエンとの共重合体のキノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(イ)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、および(ロ)フェノール類とジシクロペンタジエンとの共重合体のキノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027