特許
J-GLOBAL ID：200903079562349716
溝付き流体軸受加工方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-232748
公開番号（公開出願番号）：特開平10-076411
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【課題】 スリーブに応力をかけず高精度に動圧溝付き流体軸受の軸受穴を加工する。【解決手段】 軸受穴1Bを有する被加工物を回転駆動させる回転スピンドル4とチャック5と、XY方向に摺動可能なステージ6を有し、このステージ6に前記被加工物の前記軸受穴1Bの加工を施すバイト7を有し前記バイト7に前記回転スピンドル4に対し略直角方向に微振動を与える圧電素子10を有し、前記軸受穴1B加工中に圧電素子10に略半正弦波形状の電圧を与える駆動回路11を有し、圧電素子10でバイト7に微振動を与えながら溝付き軸受穴を加工するので、スリーブに座屈、曲がりが無く高精度に加工できる。
請求項（抜粋）：
軸受穴を有する被加工物を回転駆動させる回転スピンドルとチャックと、XY方向に摺動可能なステージを有し、このステージに前記被加工物の前記軸受穴の加工を施すバイトを有し前記バイトに前記回転スピンドルの回転軸に対し略直角方向に微振動を与える圧電素子を有し、前記軸受穴加工中に圧電素子に直線と略半円弧からなる略半正弦波形状の電圧を与える駆動回路を有する溝付き流体軸受加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23B 29/12
, F16C 33/10 A
