特許

J-GLOBAL ID：200903079568698720

光センサの調整方法および光センサの調整装置

発明者： 豊田 稲男 ,  高島 正樹
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-092482
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284712
出願日： 1997年04月10日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】光電変換素子と信号処理回路と回路調整用薄膜抵抗素子とがワンチップ化された光センサにおいて容易に調整を行うことができる光センサの調整方法および光センサの調整装置を提供する。【解決手段】フォトダイオード3の出力端子にアンペアメータ42を設け、基準強度の光をフォトダイオード3に照射し、その時のアンペアメータ42により検出された電流値を記録する。その後、フォトダイオード3の出力端子に電流発生源としての定電流回路を設け、フォトダイオード3に光を照射せず、かつ、定電流回路を用いて前記記録した電流値を信号処理回路8に流した状態で、所望の出力値を得るように薄膜抵抗素子31のレーザトリミングを行う。

請求項（抜粋）：

光を受光して電気信号に変換する光電変換素子と、当該光電変換素子の出力端子からの電流を入力して信号処理を行う信号処理回路と、回路調整用の薄膜抵抗素子とがワンチップ化された光センサの調整方法であって、前記光電変換素子の出力端子に電流検出器を設け、基準強度の光を前記光電変換素子に照射し、その時の前記電流検出器により検出された電流値を記録する工程と、前記光電変換素子の出力端子に電流発生源を設け、前記光電変換素子に光を照射せず、かつ、前記電流発生源を用いて前記記録した電流値を信号処理回路に流した状態で、所望の出力値を得るように前記薄膜抵抗素子のレーザトリミングを行う工程とを備えたことを特徴とする光センサの調整方法。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 31/10

FI (4件)：

H01L 27/14 Z ,  H01L 27/04 P ,  H01L 27/04 V ,  H01L 31/10 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 受光素子アレイ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-250571   出願人：沖電気工業株式会社
• 光電気変換IC
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-084761   出願人：ローム株式会社
• 特開昭63-116458
  
• 特開平1-205462