特許
J-GLOBAL ID：200903079572526365
ガラスの厚みの変化を測定する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-346397
公開番号（公開出願番号）：特開2003-148923
出願日： 2001年11月12日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：
【要約】【課題】 カバーガラスの厚みの微小変化を正確に捉え、カバーガラスの厚み加工工程へのフィードバックを可能にすること。【解決手段】 ファブリペロー共振器内にガラスを挿入して共振周波数を測定し、共振周波数の変化からガラスの厚みの変化を読み取ることを特徴とするガラスの厚みの変化を測定する方法。
請求項（抜粋）：
ファブリペロー共振器内にガラスを挿入して共振周波数を測定し、共振周波数の変化からガラスの厚みの変化を読み取ることを特徴とする、ガラスの厚みの変化を測定する方法。
Fターム (6件)：
2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065BB22
, 2F065CC00
, 2F065FF00
, 2F065FF46
