特許

J-GLOBAL ID：200903079577213195

エッチング装置

発明者： 尾崎 陽介
出願人/特許権者： 株式会社オーケープリント
代理人 (1件)： 和泉 良彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-282471
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107269
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 被エッチング板材の表面に形成された被エッチング層を均一にエッチングする。【解決手段】 容器1内に搬送手段2を設け、容器1に回動可能にスプレー管6、7を設け、スプレー管6、7にそれぞれ多数のスプレーノズルを設け、容器1の外部にターボブロワ11を設け、ターボブロワ11の吸引管12を容器1内に接続し、ターボブロワ11の吐出管13に複数の供給管14を接続し、供給管14に空気噴射ノズル15を接続し、空気噴射ノズル15を搬送手段2の近傍で、かつ搬送手段2の搬送方向のスプレーノズル間に位置させる。

請求項（抜粋）：

エッチング液を被エッチング板材の表面に向けて吹き付けるエッチング液スプレー手段を有するエッチング装置において、上記被エッチング板材の表面に向けて気体を噴射する気体噴射手段を設けたことを特徴とするエッチング装置。

IPC (3件)：

C23F 1/08 101 ,  H05K 3/06 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

C23F 1/08 101 ,  H05K 3/06 Q ,  H01L 21/306 R

Fターム (16件)：

4K057WA10 ,  4K057WB20 ,  4K057WM06 ,  4K057WM14 ,  4K057WN01 ,  5E339BD03 ,  5E339BD05 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339BE16 ,  5E339GG02 ,  5F043DD13 ,  5F043DD30 ,  5F043EE07 ,  5F043EE36 ,  5F043EE40

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-072088