特許

J-GLOBAL ID：200903079580009302

表面構造を画像化するセンサ

発明者： トーマス・バイヤー ,  ヨハン・グレシュナー ,  マルチン・ノーネンマッヘル
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-034155
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249863
出願日： 1994年02月07日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 プローブに及ぼされる力を、x,y,zの方向にほぼ無関係に測定できる、力顕微鏡で用いるセンサを提供する。【構成】 原子間力にもとづく顕微鏡の作製に用い、そして最大3つの成分の力を表すセンサ(100)を提供する。このセンサ(100)は、異なるモード(横およびねじれ)の振動を個別に誘起でき、各モードがそれぞれ1つの力の方向に対応するように設計されている。

請求項（抜粋）：

力の測定によって表面構造を画像化するセンサであって、測定用探針から成る測定用プローブ(12)と、前記測定用プローブを取り付けるアーム(11)とを備え、前記測定用プローブは、画像化すべき表面の近傍で振動し、前記表面が前記振動に与える影響を測定するセンサにおいて、前記センサは少なくとも2つの異なる振動モードを有し、前記プローブ(12)の前記探針は、前記少なくとも2つの異なる振動モードで、異なる方向に振動することを特徴とするセンサ。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-116401