特許
J-GLOBAL ID:200903079594609515
複合材保護層を形成するための方法及び装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
松本 研一
, 小倉 博
, 黒川 俊久
, 荒川 聡志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-242822
公開番号(公開出願番号):特開2007-070222
出願日: 2006年09月07日
公開日(公表日): 2007年03月22日
要約:
【課題】セラミック複合材における酸化を減少させる方法を提供する。【解決手段】本方法は、第1の化学蒸気浸透(CVI)プロセスを用いて物品の少なくとも一部分上に炭化ケイ素(SiC)マトリックスの第1の部分を堆積させるステップ(130)と、第2のCVIプロセスを用いてSiCマトリックスの少なくとも一部分内にケイ素(Si)ドープ窒化ホウ素(BN)層を堆積させるステップ(140)と、第3のCVIプロセスを用いてSiCマトリックスの第1の部分の少なくとも一部内に又は該第1の部分に連続してSiCマトリックスの第2の部分を堆積させるステップ(150)とを含む。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
セラミック複合材における酸化を減少させる方法であって、
第1の化学蒸気浸透(CVI)プロセスを用いて物品の少なくとも一部分上に炭化ケイ素(SiC)マトリックスの第1の部分を堆積させるステップ(130)と、
第2のCVIプロセスを用いて前記SiCマトリックスの少なくとも一部分内にケイ素(Si)ドープ窒化ホウ素(BN)層を堆積させるステップ(140)と、
第3のCVIプロセスを用いて前記SiCマトリックスの第1の部分の少なくとも一部内に又は該第1の部分に連続してSiCマトリックスの第2の部分を堆積させるステップ(150)と、
を含む方法。
IPC (4件):
C04B 41/89
, C04B 41/87
, C04B 35/80
, C23C 16/42
FI (4件):
C04B41/89 K
, C04B41/87 G
, C04B35/80 K
, C23C16/42
Fターム (5件):
4K030BA37
, 4K030BA39
, 4K030CA05
, 4K030FA10
, 4K030HA01
引用特許:
出願人引用 (13件)
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米国特許4642271号明細書
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米国特許6707877号明細書
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米国特許6824860号明細書
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米国特許6838162号明細書
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米国特許6622503号明細書
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米国特許5026604号明細書
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米国特許5472650号明細書
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米国特許5894066号明細書
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米国特許5990025号明細書
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米国特許6069101号明細書
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米国特許6083560号明細書
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米国特許6228453号明細書
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米国特許6537506号明細書
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審査官引用 (1件)
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