特許

J-GLOBAL ID：200903079603152485

薄膜磁気ヘッド用ウェハの切断方法およびその装置

発明者： 伊藤 勝実
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
代理人 (1件)： 加藤 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-226018
公開番号（公開出願番号）：特開平10-055508
出願日： 1996年08月08日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 薄膜磁気ヘッド用ウェハを真直度よくかつ生産性よくローに切断する。【解決手段】 2本のローラ62,64の周面に複数本の溝104,106を周方向に形成する。放電加工用ワイヤをローラ62,64相互間に溝104,106に沿って巻き回し、ローラ62,64間に複数本のワイヤ78を一定ピッチで平行に張ったマルチワイヤ78aを形成する。ウェハ84をクランプ装置98にクランプして、X-Yテーブル54によってマルチワイヤ78a方向に移送する。加工電源装置90からローラ62,64とウェハ84間に給電することによりウェハ84をローに切断する。

請求項（抜粋）：

少なくとも外周面が金属で構成されて所定の距離を隔てて平行に対向配置された複数本のローラの相互間に、放電加工用ワイヤを複数回順次ローラの軸方向に位置をずらして巻き回して、これらローラ間のギャップに複数本のワイヤを所定のピッチで平行に張った状態を形成し、前記複数本のローラを回転駆動して当該ローラ間のギャップに張られた複数本のワイヤを当該ワイヤの線に沿った方向に順次進行させながら、当該ローラと薄膜磁気ヘッド用ウェハとの間にワイヤ放電加工用電圧を印加して、当該複数本のワイヤに並列に放電加工用電流を供給し、前記ウェハおよび前記複数本のワイヤを相対移動して接近させ、当該複数本のワイヤと当該ウェハ間で放電を生じさせながら当該複数本のワイヤを当該ウェハの面内に食い込ませていくことにより、当該ウェハを個々のローに切断してなる薄膜磁気ヘッド用ウェハの切断方法。

IPC (3件)：

G11B 5/31 ,  B23H 7/02 ,  H01L 21/301

FI (3件)：

G11B 5/31 M ,  B23H 7/02 ,  H01L 21/78 F