特許
J-GLOBAL ID：200903079603997019
磁気光学欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-196473
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062184
出願日： 1994年08月22日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 ファラデ-効果素子間の継ぎ目部分での検査漏れをなくし1回の検査で全幅の検査を可能にする。鋼材の検査対象部分を強力に磁化し検出感度を上げる。検出ユニットと磁化機構との配置上の干渉による様々な制約をなくする。【構成】 電磁石50A〜50Dを互いに平行に、かつ搬送方向Xに対して傾けて配置する。互いに隣接する電磁石の磁極同士を異極にして、それらの間にファラデ-効果素子21A〜21Fを配置する。各々の電磁石の磁極間の距離d2に比べて、互いに隣接する電磁石の磁極の距離d1を小さくし、ファラデ-効果素子が対向する部分の磁気抵抗を下げる。電磁石のコアの磁気抵抗を検査対象物に比べて充分に小さくする。ファラデ-効果素子21A〜21Fを2列に千鳥状に配置する。
請求項（抜粋）：
検査対象物の少なくとも表層部を磁化する磁化手段;検査対象物の磁化される面の近傍に配置され、それが受ける磁界に応じてそれを透過する光の偏光面を回転する、ファラデ-効果素子手段;直線偏光の光を、前記ファラデ-効果素子手段の面に照射する、照明手段;前記ファラデ-効果素子手段からの反射光を受光する検光子;該検光子の近傍に配置され、検光子を通った光の強度から検査対象物上の欠陥を検出する、欠陥検出手段;を含む磁気光学欠陥検査装置において:前記磁化手段が、少なくともその両端近傍にそれぞれ極部を有する複数の電磁石で構成され、該複数の電磁石が互いに実質的に平行に配置され、互いに隣接する電磁石の異極同士の距離が、各々の電磁石の両極部間の距離に比べて小さくなる位置関係でそれらの電磁石が配置され、互いに隣接する電磁石の異極同士の間に、前記ファラデ-効果素子手段が配置された、ことを特徴とする磁気光学欠陥検査装置。
IPC (2件)：
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