特許

J-GLOBAL ID：200903079605187146

防振光学装置

発明者： 芝山 敦史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-070633
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281988
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】防振光学装置の提供。【構成】 本発明における発明は、少なくとも2群以上のレンズ群を有する対物レンズ系と、ブレを検出する振動検出手段とを有し、前記対物レンズ系の最も物体側のレンズ群以外の位置に振動補正手段を有し、対物レンズ系の少なくとも一部がこの対物レンズ系の光軸方向に移動し、対物レンズ系の可動レンズ群の移動量を検知する少なくとも一つの移動量検知手段と、移動量検知手段からの信号と振動検出手段からの信号に基づいて振動補正手段の駆動量を演算する演算手段を設けた構成である。

請求項（抜粋）：

少なくとも2群以上のレンズ群を有する対物レンズ系と、ブレを検出する振動検出手段とを有し、前記対物レンズ系の最も物体側のレンズ群以外の位置に振動補正手段を有し、前記対物レンズ系の少なくとも一部が前記対物レンズ系の光軸方向に移動し、前記対物レンズ系の可動レンズ群の移動量を検知する少なくとも一つの移動量検知手段と、前記移動量検知手段からの信号と前記振動検出手段からの信号に基づいて前記振動補正手段の駆動量を演算する演算手段を設けたことを特徴とする防振光学装置。

IPC (4件)：

G03B 5/00 ,  G02B 7/08 ,  G02B 15/00 ,  G02B 27/64

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-262608
  
• 特開昭62-081508