特許
J-GLOBAL ID：200903079612357685
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-007646
公開番号（公開出願番号）：特開2001-202896
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：
【要約】【課題】 2価のインジウムイオンを含むイオンビームを引き出すものであって、接地電極および抑制電極を構成する元素の1価イオンによるコンタミネーションの発生を防止することができるイオン源を提供する。【解決手段】 このイオン源は、プラズマ4を生成するプラズマ生成部2と、このプラズマ生成部2内のプラズマ4からイオンビーム6を引き出す引出し電極系10とを備えていて、2価のインジウムイオンを含むイオンビーム6を引き出すものである。そしてこの引出し電極系10を構成する接地電極14および抑制電極12の材質を、アルミニウムまたはカーボンとした。
請求項（抜粋）：
プラズマを生成するプラズマ生成部と、このプラズマ生成部内のプラズマからイオンビームを引き出す電極系であって、接地電位の接地電極および当該接地電極の上流側に設けられていて負電圧が印加される抑制電極を有する引出し電極系とを備えていて、2価のインジウムイオンを含むイオンビームを引き出すイオン源において、前記接地電極および抑制電極の材質をアルミニウムまたはカーボンとしたことを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
5C030DD04
, 5C030DD05
, 5C030DE04
, 5C030DG09
