特許

J-GLOBAL ID：200903079614074907

有機溶剤蒸気処理装置

発明者： 川上 由基人 ,  山内 恒
出願人/特許権者： 株式会社西部技研
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003636
公開番号（公開出願番号）：特開2000-197806
出願日： 1999年01月11日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】本発明は処理空気中にフォトレジストの蒸気が含まれる場合であっても処理可能な有機溶剤蒸気処理装置を提供しようとするものである。【解決手段】処理空気中の有機溶剤蒸気を吸着する吸着ロータ1の流入側に紫外線に耐えるプレフィルター11を設け、このプレフィルターに紫外線を照射する紫外線ランプ12,13を設け、プレフィルター11上にフォトレジストを重合付着させるようにした。

請求項（抜粋）：

有機溶剤蒸気の吸着剤を担持した吸着ロータと、前記吸着ロータに対して少なくとも被処理空気を送る処理空気通路と再生空気を送る再生空気通路とを備え、前記処理空気通路の吸着ロータの流入側に紫外線照射に耐える材料よりなるプレフィルターを設け、このプレフィルターに紫外線を照射する発光手段を設けたことを特徴とする有機溶剤蒸気処理装置。

IPC (3件)：

B01D 53/44 ,  B01D 53/74 ,  B01D 53/06

FI (2件)：

B01D 53/34 117 G ,  B01D 53/06 A

Fターム (25件)：

4D002AB03 ,  4D002AC10 ,  4D002BA04 ,  4D002BA05 ,  4D002BA09 ,  4D002BA14 ,  4D002CA05 ,  4D002DA41 ,  4D002DA45 ,  4D002DA51 ,  4D002DA70 ,  4D002EA01 ,  4D002EA08 ,  4D002EA13 ,  4D002GA02 ,  4D002GB03 ,  4D002HA03 ,  4D002HA06 ,  4D012CA11 ,  4D012CC02 ,  4D012CD01 ,  4D012CG01 ,  4D012CH10 ,  4D012CJ10 ,  4D012CK10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特公平7-083666