特許
J-GLOBAL ID：200903079620327612
基板温度の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048141
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251397
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 基板温度の測定方法に関し,処理する基板を汚染することなく直接基板温度を正確に測定する方法の提供を目的とする。【構成】 規則的なパターンの形成された基板1表面に光を照射し, 基板1表面で反射する光の強度から基板1表面の温度を求めるように構成する。また,光源2から基板1表面に入射する光の入射角と基板1表面で反射して受光部3に入る光の反射角を固定し, 反射して受光部3に入る光の強度から基板1表面の温度を求めるように構成する。また,光源2から基板1表面に入射する光が可視光であるように構成する。
請求項（抜粋）：
規則的なパターン(11)の形成された基板(1) 表面に光を照射し, 該基板(1) 表面で反射する光の強度から該基板(1) 表面の温度を求めることを特徴とする基板温度の測定方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
