特許
J-GLOBAL ID：200903079621402316

単結晶インゴット周面加工装置におけるインゴット位置決め方法

発明者：
土屋 政博

土屋 政博 について


出願人/特許権者：
理学電機株式会社

理学電機株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-089047
公開番号（公開出願番号）：特開平11-285955
出願日： 1998年04月01日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 単結晶インゴットのスライスに際し、同インゴットの周面を基準に位置決めするだけで、結晶軸に対し所望の角度で単結晶インゴットをスライスできるようにする。【解決手段】単結晶インゴット1の両端を回転自在に支持し、この単結晶インゴット1の周面にX線を照射するとともに、該単結晶インゴット1の周面から反射してくる回折X線を検出することにより単結晶インゴット1の結晶軸方位を測定する。次いで、単結晶インゴット1を回転させるとともに、結晶軸方位と平行な任意の軸Z′を中心に単結晶インゴット1を旋回させることにより、周面研削砥石に対する相対位置を調整する。
請求項（抜粋）：
単結晶インゴットの両端を支持して所定の基準軸と平行な回転中心周りに回転させるとともに、前記単結晶インゴットの周面に当接させた周面研削砥石を前記基準軸に沿って移動させながら前記単結晶インゴットを研削していく単結晶インゴット周面加工装置において、前記単結晶インゴットの結晶軸方位を検出するとともに、前記単結晶インゴットの回転中心を、さらに前記結晶軸方位と平行な任意の軸を中心に旋回させることにより、前記周面研削砥石に対する単結晶インゴットの相対位置を調整することを特徴とするインゴット位置決め方法。
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM