特許

J-GLOBAL ID：200903079633830992

感光性組成物

発明者： 上村 次郎 ,  佐々木 充 ,  中井 英之 ,  秋山 健夫 ,  松村 智之 ,  鈴木 利継
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社 ,  コニカ株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262376
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100422
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【構成】 感光性組成物で、少なくともキノンジアジド化合物、アルカリ可溶性樹脂、露光により酸を生成する化合物、有機染料、及び特定の骨格を有するハロゲン化合物を含有することを特徴とする。【効果】 通常露光時だけでなく、低露光時においても優れた露光可視画性を有する。

請求項（抜粋）：

少なくとも(a)キノンジアジド化合物、(b)アルカリ可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合物、(d)有機染料及び(e)下記一般式(I)で表わされるハロゲン化合物【化1】(式中、R1 〜R3 は各々、水素原子、ハロゲン原子、又はハロゲン化アルキル基を表わすが少なくとも1つはハロゲン化アルキル基を表わし、XはN又はCHを表わす)を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 507 ,  H01L 21/027