特許

J-GLOBAL ID：200903079635478366

膜厚測定方法、膜厚測定装置

発明者： 野島 和久 ,  岸端 文久
出願人/特許権者： 株式会社ソニー・ディスクアンドデジタルソリューションズ
代理人 (2件)： 脇 篤夫 ,  鈴木 伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-186339
公開番号（公開出願番号）：特開2007-003456
出願日： 2005年06月27日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：

【課題】多層ディスク等の多層構造体の被測定物について分光干渉法で正確な膜厚測定ができるようにする。【解決手段】 波長帯域幅を持つ光を、被測定物の表面側から斜め方向となる入射角θiで照射させ、第1の反射膜(記録層L0)の反射光と第2の反射膜(記録層L1)の反射光との干渉光から、第1の反射膜と上記第2の反射膜の間の膜厚(スペーサ層の膜厚)を算出するとともに、第2の反射膜の反射光と表面の反射光との干渉光から、第2の反射膜と上記表面の間の膜厚(カバー層の膜厚)を算出する。入射角は、第1の反射膜の反射光と第2の反射膜の反射光との干渉光の特定の高調波成分の光強度より、第2の反射膜の反射光と上記表面の反射光との干渉光の光強度が大きくなる入射角とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

波長帯域幅を持つ光を、被測定物の表面側から斜め方向となる入射角で照射させ、上記被測定物の表面及び内部からの各反射光の干渉光から、上記被測定物内部の層の膜厚を算出することを特徴とする膜厚測定方法。

IPC (1件)：

G01B 11/02

FI (1件)：

G01B11/02 G

Fターム (19件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB17 ,  2F065CC03 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065FF53 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL02 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065UU07