磁気記録媒体およびその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-319804
公開番号（公開出願番号）：特開平6-195691
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】磁気記録媒体において、硬度の高いスライダー材料を用いてもクラッシュの発生が少なく、耐CSS特性の良いカーボン保護層が形成された磁気記録媒体を実現する。【構成】メタンを所定の混入量以上に混入させたスパッタリングガスを用いてカーボン保護層を形成すると、ダイアモンド結合の比率がグラファイト結合の比率より高く、さらに、ポリマー性の結合が適度に存在するカーボン保護層を形成できる。このようなカーボン保護層を有する磁気記録媒体(ケース3)は、CSSサイクル試験において非常に高い耐久性を示す。

請求項（抜粋）：

非磁性の基体上に積層された磁性層を保護するカーボン保護層を少なくとも有する磁気記録媒体において、前記カーボン保護層の主成分である炭素のラマンスペクトル解析により、ポリマー性結合状態と、グラファイト結合状態に比して高い比率のダイアモンド結合状態とを示すことを特徴とする磁気記録媒体。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-183617
特開平2-029919
特開昭61-126627

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