加熱反応炉の温度制御システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-548914
公開番号（公開出願番号）：特表2002-515648
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：

【要約】加熱反応炉(10)の温度制御システムであって、所定の温度範囲に最適化したダイナミックモデルを利用した複数の温度制御器からなり、一つの温度制御器の温度範囲が他の制御器の温度範囲と重ならないようになっている。この制御システムは強化型温度勾配論理を利用していると共に、非バーチャル温度検出器(36、42)にハードウェアトラブルが発生すればバーチャル温度検出器を利用する。温度検出器のトラブルが検出されると、制御システムが実際の温度検出器(36、42)をバーチャル温度検出器に置き換える。また、加熱素子(30)のトラブルを検出して、制御モードを切り換える制御論理も備わっている。

請求項（抜粋）：

加熱反応炉の温度を制御する温度制御システムであって、第1温度範囲にわたって第1組の制御出力値を算出するために最適化した第1温度制御器と、前記第1温度範囲とは異なる第2温度範囲にわたって第2組の制御出力値を算出するために最適化した第2温度制御器と、加熱反応炉の温度を制御するに当たって何れの組の制御値を利用すべきかを判定する制御出力選択論理とからなる温度制御システム。

IPC (6件)：

H01L 21/31 , F27D 19/00 , G05D 23/00 , H01L 21/205 , H01L 21/22 501 , H05B 3/00 310

FI (6件)：

H01L 21/31 E , F27D 19/00 A , G05D 23/00 F , H01L 21/205 , H01L 21/22 501 N , H05B 3/00 310 D

Fターム (42件)：

3K058AA12 , 3K058BA19 , 3K058CA12 , 3K058CA69 , 3K058CB13 , 4K056AA09 , 4K056CA18 , 4K056FA02 , 4K056FA13 , 5F045AA06 , 5F045AA20 , 5F045AF03 , 5F045BB20 , 5F045EK09 , 5F045EK22 , 5F045EK27 , 5F045EM08 , 5F045EN05 , 5F045GB05 , 5F045GB06 , 5F045GB16 , 5H323AA27 , 5H323AA40 , 5H323BB05 , 5H323CA06 , 5H323CB02 , 5H323CB42 , 5H323DA01 , 5H323EE05 , 5H323FF01 , 5H323FF10 , 5H323GG02 , 5H323KK05 , 5H323LL11 , 5H323LL12 , 5H323LL18 , 5H323LL22 , 5H323LL27 , 5H323MM06 , 5H323QQ02 , 5H323SS02 , 5H323TT10

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