特許
J-GLOBAL ID：200903079646589518
磁性薄膜の両面同時成膜装置及び両面同時成膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-324787
公開番号（公開出願番号）：特開平9-202970
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】 作成される磁性薄膜の磁気特性の面内分布を改善し、磁気記録媒体等の性能改善に寄与する。【解決手段】 磁性材料よりなるターゲット11とターゲット11を通して基板2に向けて磁力線を漏出させて磁場を設定するマグネット12とからなる一対のカソード1を基板2を挟んで対向して配設する。各マグネット12の磁場は基板2に垂直な回転軸41に対して非対称状であり、この回転軸41の周りに各マグネット12を回転させる回転駆動機構4が付設される。回転駆動機構4は、各マグネット12を同じ回転速度で且つ基板2に垂直な一方の向きから見て同じ向きに回転させる。
請求項（抜粋）：
成膜する基板を挟んで対向して配設された一対又は複数対のカソードを備えた磁性薄膜の両面同時成膜装置であって、各カソードは、成膜すべき磁性材料よりなるターゲットと、ターゲットを通して基板に向けて磁力線を漏出させて磁場を設定するマグネットとを具備し、各カソードに具備されたマグネットは、基板に垂直な回転軸に対して非対称状の分布の磁場を設定するものであるとともにこの回転軸の周りに各マグネットを回転させる回転駆動機構が付設されており、さらに、この回転駆動機構は、対を構成するカソードに具備された各マグネットを、同じ回転速度で且つ基板に垂直な一方の向きから見て同じ向きに回転させるものであることを特徴とする磁性薄膜の両面同時成膜装置。
IPC (4件)：
C23C 14/56
, C23C 14/35
, G11B 5/85
, H01F 41/18
C23C 14/56 H
, C23C 14/35 B
, G11B 5/85 C
, H01F 41/18
