特許
J-GLOBAL ID：200903079647743936
流量の制御方法及びそれに用いるマイクロバルブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿形 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-013056
公開番号（公開出願番号）：特開2002-215241
出願日： 2001年01月22日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：
【要約】【課題】 機械的素子や特殊な材料を用いることなく、流路中を通る流体自体の物性を利用して微小流路の流量を制御しうる新規な方法を提供する。【解決手段】 断熱性固体基板に穿設した微小流路に、熱により可逆的に固液相転移しうる流体を流しながら、相転移点以下に冷却して生成した固体をもって流路を閉塞し、また相転移点以上に加熱して流路を開放することにより微小流路内の流体の流量を調節する。またそれに用いるマイクロバルブとして、断熱性固体基板に穿設された微小流路、その流路内に充填された熱により可逆的に固液相転移しうる流体及びその微小流路の適所に配置された流体を加熱及び冷却しうる温度制御手段から構成されたものとする。
請求項（抜粋）：
断熱性固体基板に穿設した微小流路に、熱により可逆的に固液相転移しうる流体を流しながら、相転移点以下に冷却して生成した固体をもって流路を閉塞し、また相転移点以上に加熱して流路を開放することにより微小流路内の流体の流量を調節することを特徴とする流量の制御方法。
IPC (4件)：
G05D 7/06
, B81B 1/00
, F15B 21/06
, F16K 13/00
G05D 7/06 Z
, B81B 1/00
, F15B 21/06
, F16K 13/00 B
3H082AA25
, 3H082BB08
, 3H082CC05
, 3H082DB01
, 5H307AA18
, 5H307BB05
, 5H307BB07
, 5H307BB10
, 5H307DD11
, 5H307EE36
, 5H307EE38
, 5H307JJ10
