特許

J-GLOBAL ID：200903079647787100

ディジタル・マイクロミラー装置をリセットする方法

発明者： リチャード オビッド ガーレ ,  ランドール エス.ロウソン ,  ハーラン ピー.クリーブランド ,  ヘンリー チュー ,  カール ダブリュ.デービス ,  スコット ディー.ヘイムブック ,  クロード イー.テュー
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-045856
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294832
出願日： 1995年03月06日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 ディジタル・マイクロミラー装置の新規な制御方法。【構成】 機械的な応力を減少し、装置の寿命を一層長くし、自発的なビット・リセットの発生を少なくし、パルス幅変調の精度を高める様にディジタル・マイクロミラー装置40を制御する方法。装置の応力を減らす為、鏡50に印加されるバイアス電圧142は、鏡50が係止(ラッチ)された後下げることができる。時期尚早の鏡の変化を防止する為、鏡が所望の位置に駆動された後、アドレス電極バイアス電圧140を下げることができる。リセットの際、鏡50が中立位置に復帰する様に保証する為、リセット期間152の間、鏡バイアス電圧142は接地電位から2つのアドレス電圧の大体中間まで高めることができる。丁番の記憶作用を減らすと共に、鏡50が正しいアドレス電極に向って回転する様に保証する為、鏡バイアス電圧142を徐々に増加して、鏡50が正しいアドレス電極に向って回転する様にさせることができる。

請求項（抜粋）：

ディジタル・マイクロミラー装置の素子の一対のアドレス電極をバイアスする工程を含み、この時第1の電圧を第1のアドレス電極に印加し、第2の電圧を第2のアドレス電極に印加し、撓み可能な構造を第3の電圧でバイアスする工程を含み、該第3の電圧は前記第1の電圧より小さく、前記第2の電圧より大きいディジタル・マイクロミラー装置をリセットする方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 空間光変調装置及び達成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-158717   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド