特許

J-GLOBAL ID：200903079653391006

光学的な開口の作製方法

発明者： 新輪 隆 ,  加藤 健二 ,  大海 学 ,  光岡 靖幸 ,  笠間 宣行 ,  前田 英孝 ,  篠原 陽子 ,  市原 進
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-126415
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071545
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】 本発明の課題は、簡便な方法で均一な開口径を有する微小開口を形成する方法を提供することである。【解決手段】 錐状のチップ1と前記チップの近傍に配置され、前記チップと略同じ高さを有するストッパー2と、少なくとも前記チップ上に形成された遮光膜3からなる被開口形成体に対して、少なくとも前記チップ1および前記ストッパー2の少なくとも一部を覆うような略平面を有する押し込み体7を、前記チップに向かう成分を有する力によって変位させることによって、前記チップ先端に光学的な開口を形成する。

請求項（抜粋）：

錐状のチップと、前記チップと略同じ高さを有するストッパーと、前記チップ上に設けられた遮光膜とを有する被開口形成体に対して、前記チップおよび前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面部を有する押し込み体を、前記チップに向かう成分を有する力によって変位させることによって、前記チップ先端に開口を形成することを特徴とする開口の作製方法。

IPC (3件)：

G01N 13/14 ,  G11B 7/135 ,  G12B 21/06

FI (3件)：

G01N 13/14 B ,  G11B 7/135 A ,  G12B 1/00 601 C

Fターム (3件)：

5D119AA22 ,  5D119JA34 ,  5D119NA05