特許

J-GLOBAL ID：200903079654016012

高純度アルミナ焼結体の製造方法

発明者： 松下 文夫 ,  西川 文茂 ,  明石 景泰
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
代理人 (1件)： 清水 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216485
公開番号（公開出願番号）：特開平5-009064
出願日： 1985年10月15日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 酸化マグネシウム以外の不純物を含まない高純度アルミナ焼結体において、表面平滑性の優れたものを製造する方法を提供する。【構成】 アモルファス水酸化アルミニウム経由のアルミナ粉末、すなわち、比表面積が3〜15m2 /g、平均粒径が0.6〜1.4μ、かつ0.2μ毎に区切った粒度分布において最大の割合を占める区分が平均粒径の0.1〜0.6倍の範囲にあり、その割合が他のいずれの区分に対しても1.5倍以上であるαアルミナ粉末を用い、この粉末に適した条件および方法で粉末調整、製膜および焼成を行う。

請求項（抜粋）：

比表面積が3〜15m2 /g、平均粒径が0.6〜1.4μ、かつ0.2μ毎に区切った粒度分布において最大の割合を占める区分が平均粒径の0.1〜0.6倍の範囲にあり、その割合が他のいずれの区分に対しても1.5倍以上であるαアルミナ粉末に焼結助剤を加え、水素中、真空中または酸素中で焼成することを特徴とする、焼結体を構成する粒子の大きさが3μ以下であり、かつ平均粒径が1〜3μ、焼結体密度が3.85g/cm3 以上、焼結体の表面の平滑性が中心線平均粗さで0.05〜0.020μ、焼結体に含まれる酸化マグネシウムの量が0.07〜0.15重量%、酸化マグネシウム以外の不純物総量が0.01重量%以下である高純度アルミナ焼結体の製造方法。