特許

J-GLOBAL ID：200903079654658219

光学的測定装置

発明者： 清野 慧 ,  鈴木 弘 ,  遠山 退三
出願人/特許権者： 豊田工機株式会社 ,  清野 慧
代理人 (1件)： 門間 正一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-279912
公開番号（公開出願番号）：特開平5-118815
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 測定用ビーム光源のドリフトの影響を確実に除去し、高精度の測定を可能にする。【構成】 一対の光源101,102と、前記各光源101,102から出射される光ビームを被測定物8に向けて照射させる光学系103と、前記光学系103の光路を間欠遮断することにより各光源101,102の光ビームを反射する回転体104と、被測定物8により反射される光ビームおよび回転体104により反射される光ビームの位置を検出する検出手段105と、回転体104からの反射光ビームに対応する位置信号に基づいて光源101,102のドリフト補正量を算出し、この補正量により前記被測定物8からの反射光ビームに対応する位置信号を補正してドリフト成分を除去する演算手段106とを備えてなる。

請求項（抜粋）：

一対の光源と、前記各光源から出射される光ビームを被測定物に向けて照射させる光学系と、前記光学系の光路を間欠遮断することにより前記各光源の光ビームを反射する回転体と、前記被測定物により反射される光ビームおよび前記回転体により反射される光ビームの位置を検出する検出手段と、前記回転体からの反射光ビームに対応する位置信号に基づいて前記光源のドリフト補正量を算出し、この補正量により前記被測定物からの反射光ビームに対応する位置信号を補正してドリフト成分を除去する演算手段とを備えたことを特徴とする光学的測定装置。