特許

J-GLOBAL ID：200903079657352714

光偏向器および光走査型光学装置

発明者： 村上 賢治 ,  徳田 一成
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-081125
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277810
出願日： 2001年03月21日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】反射鏡の部分の反射率が高く、反射鏡を除いた部分の反射率が低い、マイクロマシン技術を用いて作製される光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器100は、反射鏡を有する可動部102と、可動部102を取り囲んでいる支持部108と、支持部108に対して可動部102を揺動可能に支持する一対の可撓梁104、106と、可動部102に設けられた一対の駆動電極112、114と、その各々から延びている配線122、124と、駆動電極112、114に向き合っている固定電極118とを有している。駆動電極112、114は光ビームを反射するための反射鏡としても機能する。光偏向器100は、さらに、駆動電極と配線を被覆している絶縁性の保護膜182と、保護膜182を介して駆動電極の上に選択的に形成された光学膜184とを有している。光学膜184は保護膜182と共働して反射増加膜として機能する。

請求項（抜粋）：

照射される光ビームを反射鏡により反射すると共にその反射光ビームの方向を変更し得る光偏向器であって、反射鏡を有する可動部と、可動部を取り囲んでいる支持部と、可動部と支持部を連結している一対の可撓梁であって、支持部に対して可動部を一本の軸の周りに揺動可能に支持する一対の可撓梁と、可動部に設けられた一対の駆動電極であって、反射鏡としても機能する一対の駆動電極と、駆動電極の各々から可撓梁を通って支持部まで延びている一対の配線と、駆動電極と配線を被覆している絶縁性の保護膜と、保護膜を介して駆動電極の上に選択的に形成された光学膜であって、保護膜と共働して反射増加膜として機能する光学膜と、駆動電極から離れて駆動電極に向き合っている固定電極とを有している、光偏向器。

IPC (5件)：

G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  G02B 5/08 ,  G02B 7/182 ,  G02B 26/08

FI (5件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 5/08 A ,  G02B 26/08 E ,  B41J 3/00 D ,  G02B 7/18 Z

Fターム (25件)：

2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2C362DA26 ,  2C362DA29 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DA18 ,  2H042DA20 ,  2H042DA22 ,  2H042DC01 ,  2H042DC08 ,  2H042DE00 ,  2H043CA08 ,  2H043CD04 ,  2H043CE00 ,  2H045AB02 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  2H045CB63