メンブレンフィルタ完全性試験装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：河野昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-127748
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043089
出願日： 1993年05月06日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】極めて高い精度で検知測定し、モニタおよび記録することのできるメンブレンフィルタ完全性試験装置を提供する。【構成】本発明のメンブレンフィルタ完全性試験装置は、メンブレンフィルタの一次側に急速に大量の流体を供給することのできる大流量マスフロー・コントローラと、この大流量マスフロー・コントローラによって供給された流体によってメンブレンフィルタの一次側の圧力が所定レベルに達したときに大流量マスフロー・コントローラの作動を停止させると同時に小流量の流体をメンブレンフィルタの一次側に供給する小流量マスフロー・コントローラと、被試験メンブレンフィルタの一次側の圧力を検出し、検出信号を発生する圧力検出手段と、この圧力検出手段から検出信号を受け取ってその値に応じて小流量コントローラを比例・積分制御する主制御手段とを包含する。

請求項（抜粋）：

被試験メンブレンフィルタの一次側に流体を送って被試験メンブレンフィルタを試験するメンブレンフィルタ完全性試験装置において、メンブレンフィルタの一次側に急速に大量の流体を供給することのできる大流量コントローラと、この大流量コントローラによって供給された流体によってメンブレンフィルタの一次側の圧力が所定レベルに達したときに大流量コントローラの作動を停止させると同時に小流量の流体をメンブレンフィルタの一次側に供給する小流量コントローラと、被試験メンブレンフィルタの一次側の圧力を検出し、検出信号を発生する圧力検出手段と、この圧力検出手段から検出信号を受け取ってその値に応じて小流量コントローラを比例・積分制御する主制御手段とを包含するメンブレンフィルタ完全性試験装置。

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