炭素または炭素を主成分とする被膜の除去方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-369897
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169978
出願日： 1988年08月11日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：

【要約】【課題】炭素または炭素を主成分とする被膜の密着性を改善する。【解決手段】反応室の内壁など不要箇所に付着した炭素または炭素を主成分とする被膜を水素及び酸素または弗化物気体をプラズマ化してエッチングし、続いてアルゴン等の不活性気体または水素をプラズマして反応室内を清浄した後、炭素または炭素を主成分とする膜を形成する。

請求項（抜粋）：

反応室の内壁に付着した炭素または炭素を主成分とする被膜を除去する方法であって、減圧された前記反応室に酸素気体を導入し、前記酸素気体をプラズマ化することによって前記反応室の内壁に付着した炭素または炭素を主成分とする被膜を除去し、不活性気体または水素を前記反応室に導入し、前記不活性気体または水素に電気エネルギーを加えてプラズマ化することによって前記内壁から酸素又は酸素を含む物質を前記内壁から除去することを特徴とする炭素または炭素を主成分とする被膜の除去方法。

IPC (2件)：

C23F 4/00 , C23C 16/44

FI (2件)：

C23F 4/00 E , C23C 16/44 J

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平2-050985
特開昭58-097826
特開昭56-125840

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審査官引用 (12件)

特開昭58-097826
特開昭56-125840
特開昭56-123377

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