特許

J-GLOBAL ID：200903079666366248

超音波装置及びその製造方法

発明者： 田村 剛
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-065975
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264065
出願日： 1998年03月17日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】 安価なコストで表面粗さを低減し、且つ表面硬度を上げた耐エロージョン性に優れた超音波装置とその製造方法を提供する。【解決手段】 液体と接する部材7の表面にメッキ層9を被覆した超音波装置において、該メッキ層9上に、硬質窒化層、硬質炭化層、硬質炭窒化層のうち少なくとも1種類を含んでいる成層層11〜13を形成する。また、メッキ層9と成層層11〜13の間にチタン層10を形成しても良い。さらに上記メッキ層9が硬質クロム層であり、層厚20μm以上100μm以下であり、振動板の硬質層11〜13の材質が、窒化チタン、炭窒化チタン、炭化チタン、窒化ジルコニウム、窒化クロム、窒化チタンアルミのいずれかの1種類以上で、その硬度は1500Hv以上が良い。さらに硬質層11〜13の製造方法はイオンプレーティング法或いはアークイオンプレーティング法を用いる。

請求項（抜粋）：

液体と接する部材の表面に金属層を被覆した超音波装置において、該金属被覆層は、第1の金属層と硬質窒化層、硬質炭化層、硬質炭窒化層のうち少なくとも1種類を含む第2の金属層を有していることを特徴とする超音波装置。

IPC (3件)：

C23C 14/06 ,  B06B 1/02 ,  B08B 3/12

FI (3件)：

C23C 14/06 N ,  B06B 1/02 K ,  B08B 3/12 B