特許
J-GLOBAL ID：200903079667512930
真空ポンプ
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-130474
公開番号（公開出願番号）：特開平5-321879
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【構成】ロータ4のバランス修正用にメッキをせずとも耐食性のある材質からできたバランス修正部材7を設けた。【効果】腐食性ガスを取り扱う真空ポンプにおいて、ロータの耐食性を犠牲にすることなく、回転体であるロータの動バランスを十分とることができる。
請求項（抜粋）：
ケーシング内に設けたロータとステータよりなるポンプ部によって吸気口から吸い込んだ低圧の気体を圧縮し、排気口より大気へ排気する真空ポンプにおいて、前記ロータの回転時のバランスを修正する部位を前記ロータに設けたことを特徴とする真空ポンプ。
IPC (3件)：
F04D 19/04
, F04D 29/02
, H01L 21/302
