特許
J-GLOBAL ID：200903079667873496
半導体素子用試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-248930
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104031
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】高消費電力の半導体素子を試験する場合の冷却効率を上げて測定時の素子温度を一定に保ち、コンタクト荷重による半導体素子および電極端子の損傷を防止する。【構成】被測定用半導体素子1aを実装した測定基板2aをホルダ部3aにセットして、コンタクトレバー14aを引くことにより、測定基板保持部4aが測定基板2aの被測定用半導体素子搭載部分以外を押えながら下方に移動し、測定基板2a裏面のパッドとプローブ6aの先端を接触させ、絶縁冷却媒体9aを循環装置部10aから流し、測定基板保持部4aの中空部12aを通り絶縁冷却媒体9aを被測定用半導体素子1aの裏面に垂直に衝突させる。この状態で、被測定用半導体素子の測定を実行することによりこの素子の温度を一定に保ち、かつコンタクト荷重による電極端子の損傷を防止する。
請求項（抜粋）：
被測定用半導体素子を測定基板に実装した状態で、絶縁性冷却媒体に浸漬させて前記被測定用半導体素子の試験を行なう半導体素子用試験装置において、前記被測定用半導体素子を実装した前記測定基板を搭載するホルダー部と、前記測定基板を下方向に押える測定基板保持部と、前記測定基板およびテストボードを電気的に接続させるプローブからなるコンタクト部と、前記ホルダー部、前記コタクト部および前記測定基板保持部を含み外気を遮断して前記絶縁性冷却媒体を一時的に収容する冷却チャンバ部と、前記被測定用半導体素子に前記絶縁性冷却媒体を流し、それを回収する循還装置部と、前記テストボードに接続される測定器とを備えたことを特徴とする半導体素子用試験装置。
IPC (2件)：
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