特許

J-GLOBAL ID：200903079672140065

耐腐食性に優れた反射板用反射膜およびこの耐腐食性に優れた反射板用反射膜を形成するためのスパッタリングターゲット

発明者： 山口 剛 ,  小見山 昌三 ,  三島 昭史
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (2件)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-044738
公開番号（公開出願番号）：特開2007-070721
出願日： 2006年02月22日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：

【課題】反射板用反射層およびこの反射板用反射層を形成するためのスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】Mg:0.1〜15質量%を含有し、さらに希土類元素の内の1種または2種以上を合計で0.1〜5質量%を含有し、残部がAlおよび不可避不純物からなる組成を有するアルミニウム合金からなる耐腐食性に優れた反射板用反射膜およびこの耐腐食性に優れた反射板用反射膜を形成するためのスパッタリングターゲット。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

Mg:0.1〜15質量%を含有し、さらに希土類元素の内の1種または2種以上を合計で0.1〜10質量%を含有し、残部がAlおよび不可避不純物からなる組成を有するアルミニウム合金からなることを特徴とする耐腐食性に優れた反射板用反射膜。

IPC (3件)：

C22C 21/00 ,  C23C 14/34 ,  F21V 7/22

FI (3件)：

C22C21/00 N ,  C23C14/34 A ,  F21V7/22 B

Fターム (9件)：

4K029AA09 ,  4K029BA23 ,  4K029BC07 ,  4K029BD09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3355058号明細書