特許
J-GLOBAL ID：200903079675807338
付着物の洗浄方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-241967
公開番号（公開出願番号）：特開平7-068162
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：
【要約】【目的】 被洗浄物に形成された内部空間の内表面に付着した付着物を分子レベルで効果的に取除く。【構成】 着脱もしくは挿入可能な紫外線ランプ4を真空容器2の内部空間3に配設し、着脱可能な供給口14を介して供給される空気、酸素及びオゾンのうち少なくともいずれかを含む洗浄用ガスの下で、紫外線ランプ4から発せられる紫外線を内部空間3の内表面8に照射することにより、内表面8に付着した付着物を取除く。
請求項（抜粋）：
着脱もしくは挿入可能な紫外線ランプを被洗浄物の内部空間に配設し、着脱可能な供給口を介して供給される空気、酸素及びオゾンのうち少なくともいずれかを含む洗浄用ガスの下で、前記紫外線ランプから発せられる紫外線を前記内部空間の内表面に照射することにより、この内表面に付着した付着物を取除くことを特徴とする付着物の洗浄方法。
IPC (2件)：
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