特許
J-GLOBAL ID：200903079688769397
インクジェットヘッド及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-162799
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010894
出願日： 1997年06月19日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】 ダイボンディング工程における接着剤の塗布量、粘度の厳密な管理を不要にし、接着剤の選択の幅を広げることができ、ダイボンディングを正確に、かつ容易に達成できるインクジェットヘッド等を提供する。【解決手段】 <100>の面方位を有するSi基板(1)上に、インク吐出エネルギー発生素子(3)と、インク液滴吐出のためのノズル(5)と、Si異方性エッチングにより形成されたインク供給のための貫通口(2)とを有し、接着剤(7)を介してSi基板(1)とインク供給部材(6)を接着して成るインクジェットヘッドにおいて、異方性エッチングにより形成されたSi基板を貫通しない接着剤の逃げ用のV溝(8)を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
請求項（抜粋）：
<100>の面方位を有するSi基板上に、インク吐出エネルギー発生素子と、インク液滴吐出のためのノズルと、Si異方性エッチングにより形成されたインク供給のための貫通口とを少なくとも有し、該Si基板の該ノズルとは反対側の面に接着剤を介してインク供給部材を接着して成るインクジェットヘッドにおいて、該Si基板の該接着剤と接する面に、異方性エッチングにより形成された該Si基板を貫通しないV溝を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
