特許
J-GLOBAL ID：200903079705241555
ウエハチャックおよびそれを用いた露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-172355
公開番号（公開出願番号）：特開平8-037227
出願日： 1994年07月25日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】 ウエハチャックに吸着保持された半導体ウエハの反りを防止できるウエハチャックを提供する。【構成】 外周壁12に囲まれた吸引室13を負圧にすることによって支持ピン15に支持された半導体ウエハ11を吸着保持するウエハチャック1であって、外周壁12の上面に吸気溝12aが形成され、外部の気体が吸気溝12aから吸引室13内に吸引されるものである。これによれば、吸気溝12aによって外部からの気体が半導体ウエハ11の裏面に沿って流れることによりベンチュリー効果が発生するので、半導体ウエハ11の外周部に反りを防止しようとする方向の力が作用し、半導体ウエハ11は平坦な状態に吸着保持される。
請求項（抜粋）：
外周壁に囲まれた吸引室を負圧にすることによって支持ピンに支持された半導体ウエハを平坦に吸着保持するウエハチャックであって、前記外周壁の上面に吸気溝が形成され、外部の気体が前記吸気溝から前記吸引室内に吸引されることを特徴とするウエハチャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/08
, H01L 21/027
