特許
J-GLOBAL ID：200903079707066858
走査型トンネル顕微鏡のサーボ制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-050000
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241716
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡において、測定領域の凹凸状態が激しく変化する場合であっても、衝突を生じることなく高速の走査速度で短時間に測定を行い良好な追従性を実現する。【構成】 探針1と試料2との間で保持すべき一定距離を規定する基準値が設定され(10,11) 、測定領域で設定された各測定箇所で探針の高さ位置を制御することに関し、探針・試料間の距離を表すトンネル電流が前記基準値と一致するようにサーボ制御を行うように構成され(15)、さらにサーボ制御に関与する部分において、しきい値が設定されかつ当該しきい値に基づき基準値とトンネル電流の間のサーボエラーの大きさを判定する比較手段(18,19,20)と、この比較手段の出力に基づき、サーボエラーがしきい値を越えたときサーボ制御のゲインを増加させるサーボゲイン調整手段(12,13) を設けるように構成される。
請求項（抜粋）：
探針・試料間で保持すべき一定距離を規定する基準値が設定され、測定領域で設定された各測定箇所での探針の高さ位置制御で、探針・試料間の距離を表すトンネル電流が前記基準値と一致するようにサーボ制御を行う走査型トンネル顕微鏡のサーボ制御装置において、しきい値が設定され、当該しきい値に基づいて前記基準値と前記トンネル電流の間のサーボエラーの大きさを判定する比較手段と、この比較手段の出力に基づき前記サーボエラーが前記しきい値を越えたとき前記サーボ制御のゲインを増加するサーボゲイン調整手段とを設けたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡のサーボ制御装置。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
