特許
J-GLOBAL ID：200903079708992276
スパッタ中性粒子質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸山 敏之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-296765
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251035
出願日： 1991年11月13日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 精度の高い分析結果が得られる簡易な構成のスパッタ中性粒子質量分析装置を提供する。【構成】 試料(2)の表面へイオンビームを照射するイオン銃(1)と、試料から発生する中性粒子にレーザビームを照射するレーザ光源(5)と、該レーザビームによってイオン化された粒子を加速するイオン引出し電極(3)と、加速されたイオン粒子を採り込んで質量分析を施す質量分析計(4)とを具える共に、試料(2)とイオン引出し電極(3)の間には中間電極(6)を設置して、試料表面とイオン引出し電極間には、電位分布の一様な無電場空間を形成する。
請求項（抜粋）：
質量分析の対象とする試料にイオンビームを照射するイオン発生源と、試料から発生する中性粒子に光ビームを照射する光発生源と、該光ビームによってイオン化された粒子を加速するイオン引出し電極と、加速されたイオン粒子を採り込んで質量分析を施す質量分析計とを具えたスパッタ中性粒子質量分析装置において、試料とイオン引出し電極の間に中間電極を設置して、試料表面と中間電極の間に電位分布の一様な無電場空間を形成し、該空間へ向けて前記光発生源が配置されることを特徴とするスパッタ中性粒子質量分析装置。
IPC (2件)：
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