特許
J-GLOBAL ID：200903079712902427
大気圧グロー放電プラズマのモニター方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-189274
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217690
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【構成】 大気圧下の放電によるグロープラズマの生成とその安定化に際し、電流パルス数の検知によりモニターする。また、電流パルス数とともに、維持電圧の変化および/または全電流値の変化によりモニターすることや、リサジュー図形によってモニターすることによってプラズマ状態の検知から、プラズマを安定制御する。【効果】 的確で、迅速、かつ簡便な大気圧グロー放電プラズマの安定化モニターと、そのための制御が可能となる。
請求項（抜粋）：
大気圧下の放電によるグロープラズマの生成とその安定化に際し、電流パルス数の検知によりモニターすることを特徴とする大気圧グロー放電プラズマのモニター方法。
IPC (2件)：
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