特許
J-GLOBAL ID:200903079712902427

大気圧グロー放電プラズマのモニター方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西澤 利夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-189274
公開番号(公開出願番号):特開平5-217690
出願日: 1992年07月16日
公開日(公表日): 1993年08月27日
要約:
【要約】【構成】 大気圧下の放電によるグロープラズマの生成とその安定化に際し、電流パルス数の検知によりモニターする。また、電流パルス数とともに、維持電圧の変化および/または全電流値の変化によりモニターすることや、リサジュー図形によってモニターすることによってプラズマ状態の検知から、プラズマを安定制御する。【効果】 的確で、迅速、かつ簡便な大気圧グロー放電プラズマの安定化モニターと、そのための制御が可能となる。
請求項(抜粋):
大気圧下の放電によるグロープラズマの生成とその安定化に際し、電流パルス数の検知によりモニターすることを特徴とする大気圧グロー放電プラズマのモニター方法。
IPC (2件):
H05H 1/00 ,  C23C 14/54

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