ガス制御バルブ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122734
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311445
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】小型化が容易で、耐久性、信頼性の高いガス制御バルブを提供する。【解決手段】ガス制御バルブ1は、第1ポート流路65と第2ポート流路66の間に形成された弁座59と、この弁座59に当接または離間するダイヤフラム54と弁体58からなるダイヤフラム弁体と、弁体58を弁閉方向に付勢するピストンロッド53と、ピストンロッド53と組み付けられこのピストンロッド53を弁閉方向に付勢するピストン52とを有しており、ピストン52とピストンロッド53とは、ピストン貫通孔52aとロッド膨出部53aとが係合しており、ピストン52のリング状突起部52cをプレスかしめ加工することにより一体化している。

請求項（抜粋）：

ポート間を連通する流路に形成された弁座と、弁座に当接または離間する弁体と、該弁体を弁閉方向に付勢するピストンロッドと、該ピストンロッドに組み付けられ該ピストンロッドを弁閉方向に付勢するピストンと、を有するガス制御バルブにおいて、上記ピストンに形成された貫通孔に貫挿された上記ピストンロッドが該ピストンの一部のかしめ加工により前記ピストンと一体化してなることを特徴とするガス制御バルブ。

IPC (2件)：

F16K 15/18 , H01L 21/3065

FI (2件)：

F16K 15/18 F , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (9件)

エアーオペレートバルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-319119 出願人：シーケーディ株式会社
特開平4-175583
特開昭62-075180

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