特許
J-GLOBAL ID：200903079724581308
乾燥装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202304
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053203
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 溶剤蒸気による安定した乾燥処理を行なう。【構成】 処理槽11に収容した処理物18に対し、蒸気誘導手段23にて処理物18の上部側から溶剤蒸気を導く。【効果】 処理物18の上部側から溶剤蒸気の凝縮液化による乾燥が起こり、処理物18に乾燥しみ等が生じるのを防止できる。
請求項（抜粋）：
処理物を収容する処理槽と、この処理槽内に設けられ溶剤を溜めた溶剤溜部と、この溶剤溜部を加熱し溶剤蒸気を発生させる加熱手段と、前記溶剤蒸気を前記処理物の上部側から導く蒸気誘導手段と、前記処理物で溶剤蒸気が凝縮液化した凝縮液を受収する受収部とを備えたことを特徴とする乾燥装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, F26B 21/14
