特許
J-GLOBAL ID:200903079731185825
液状物質滴下装置及び方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
塩川 修治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-251900
公開番号(公開出願番号):特開2004-089783
出願日: 2002年08月29日
公開日(公表日): 2004年03月25日
要約:
【課題】液状物質の滴下動作の高速化を図り、生産性を向上させること。【解決手段】液状物質滴下装置10において、液状物質を蓄える容器40と、容器40から滴下量に応じた量の液状物質を取出す手段(取出しポート21)と、取出した液状物質を一時的に蓄える手段(備蓄室22)と、取出して蓄えられた液状物質を吐出する手段(吐出ポート23)とを備えた液状物質供給装置20と、基板1とを相対的に移動させる移動装置12とを備えたもの。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
液状物質を基板上に滴下する液状物質滴下装置において、
液状物質を蓄える容器と、
容器から滴下量に応じた量の液状物質を取出す手段と、取出した液状物質を一時的に蓄える手段と、取出して蓄えられた液状物質を吐出する手段とを備えた液状物質供給手段と、
液状物質供給手段と基板とを相対的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする液状物質滴下装置。
IPC (5件):
B05D1/30
, B05C5/00
, B05C11/10
, B05D3/00
, B05D7/00
FI (5件):
B05D1/30
, B05C5/00 101
, B05C11/10
, B05D3/00 D
, B05D7/00 H
Fターム (37件):
2H088FA09
, 2H088FA30
, 2H089KA10
, 2H089NA22
, 2H089NA56
, 2H089NA60
, 2H089QA12
, 4D075AC06
, 4D075AC07
, 4D075AC73
, 4D075AC82
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075AC94
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC24
, 4D075EA05
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AA16
, 4F041AB01
, 4F041BA02
, 4F041BA12
, 4F041BA22
, 4F041BA34
, 4F041BA38
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AA27
, 4F042AB00
, 4F042BA04
, 4F042BA08
, 4F042CA01
, 4F042CB03
, 4F042DF09
引用特許: